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隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，特氣設(shè)備越來越多的應(yīng)用于IC芯片生產(chǎn)、鍍層、實驗室科研等項目中。很多用戶在進行特氣設(shè)備的規(guī)劃時候，受限于氣房空間、位置、需求等多方面要求而不能合理規(guī)劃布局，遇到了很多問題，為日后的產(chǎn)品使用增加了風險和擴充難度。特種設(shè)備是指涉及生命安全、危險性較大的鍋爐、壓力容器（含氣瓶，下同）、壓力管道、電梯、起重機械、客運索道、大型游樂設(shè)施和場（廠）內(nèi)專用機動車輛。其中，特氣設(shè)備不僅涉及生命安全，其對環(huán)境、運行穩(wěn)定性等要求都非常高。本文就絕大多數(shù)用戶遇到的難題，結(jié)合規(guī)范做以較為標準化的布置建議。

特氣設(shè)備：

特種設(shè)備是指涉及生命安全、危險性較大的鍋爐、壓力容器(含氣瓶)、壓力管道、電梯、起重機械、客運索道、大型游樂設(shè)施和場(廠)內(nèi)專用機動車輛這八大類設(shè)備。為保障特種設(shè)備的安全運行，國家對各類特種設(shè)備，從生產(chǎn)、使用、檢驗檢測三個環(huán)節(jié)都有嚴格規(guī)定，實行的是全過程的監(jiān)督。據(jù)《2013-2017年中國特種設(shè)備檢驗檢測行業(yè)市場前瞻與投資戰(zhàn)略規(guī)劃分析報告》統(tǒng)計，截至2011年底，全國特種設(shè)備綜合性檢驗機構(gòu)已達到545家，包括質(zhì)檢部門所屬檢驗機構(gòu)、行業(yè)檢驗機構(gòu)及企業(yè)自檢機構(gòu)，另外還有型式試驗機構(gòu)、無損檢測機構(gòu)、氣瓶檢驗機構(gòu)等

特氣設(shè)備屬于特種設(shè)備的一大類，根據(jù)用戶的實際用氣種類和需求可能包含有：

GC 特氣氣瓶柜

GR 大宗or普通氣瓶架

Local Scrubber 本地式廢氣處理柜（電加熱+水洗復(fù)合型 可定制單功能）

VMB、VMP等各類氣體分配設(shè)備

GP項目典型氣瓶間

特氣系統(tǒng)，尤其是集中供氣系統(tǒng)引入國內(nèi)的時間并不長，相應(yīng)的設(shè)備、施工方法、經(jīng)驗多是從歐美等發(fā)達國家延伸而來。我們可以參考美國ASTM給出的相應(yīng)標準，目前國內(nèi)標準也在逐步完善當中。隨著半導(dǎo)體行業(yè)如火如荼的發(fā)展，越來越多的特氣設(shè)備也引入我們自己的生產(chǎn)線中，在多設(shè)備引入時建議不相容GR應(yīng)布置在不同房間里，當由于條件所限布置在同一房間時，GR之間的距離應(yīng)大于6M。同時具有可燃性和毒性的氣體設(shè)備應(yīng)該放置在可燃性氣體間。GR、GC、Scrubber等設(shè)備宜靠墻布置，具有相同性質(zhì)的設(shè)備應(yīng)該布置在一起。特種氣體房間內(nèi)的中間通道寬度不得小于2M。GC與墻體之間的距離宜大于0.1M，GC之間距離宜大于0.1M。各類設(shè)備布置應(yīng)該預(yù)留維修和運轉(zhuǎn)空間。長管拖車、ISO標準集裝瓶組等大型設(shè)備宜放置在室外空曠平地。

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