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氟氮混合氣的生產(chǎn)過程比較復(fù)雜，工藝技術(shù)難度大，且由于氟氣是強氧化劑，生產(chǎn)過程中對環(huán)境、設(shè)備、控制、安防的要求較高，氟氮混合氣生產(chǎn)分為氟氣提純和混合充裝兩個步驟。

氟氮混合氣應(yīng)用范圍和前景極其廣闊，是原子能工業(yè)、含氟電子特氣、氟化石墨、多種氟化物、醫(yī)藥中間體等的原料。同時還是一些特殊材料表面改性的理想材料。

作為當今理想的蝕刻氣體之一且氟氣不會造成溫室效應(yīng)，被應(yīng)用于集成電路和各種電子元器件的生產(chǎn)，半導體制造工藝中CVD腔室的清洗，在半導體領(lǐng)域極具市場潛力。