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三氟化氯(chlorine trifluoride)是無機化合物 ,分子式為ClF?,分子量為92.45。有毒,有強腐蝕性,常溫下為無色氣體,降溫變?yōu)榫G色液體。

可用作氟化劑、燃燒劑、推進劑中的氧化劑、高溫金屬的切割油等。在半導(dǎo)體工業(yè)中,三氟化氯被用于清潔化學(xué)氣相沉積的反應(yīng)艙。它具有不需拆卸反應(yīng)艙就可以清除艙壁附著的半導(dǎo)體物質(zhì)這一優(yōu)點。與其它代替的清潔劑不同,三氟化氯在使用前不需經(jīng)過等離子體激化,因為反應(yīng)艙殘存的熱量就足以使它分解并與半導(dǎo)體材料反應(yīng)。

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