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硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更高級的硅氫化合物。目前應用最多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡稱做硅烷。

硅烷的應用

1，高純硅烷跟高純氨氣一起用于生產(chǎn)太陽能薄膜電池將硅分子附著于電池表面2，跟高純乙烯一起用于LOW-E鍍膜玻璃的生產(chǎn)

3，高純硅烷應用于大規(guī)模集成電路的外延生長工藝中用作硅源,

4，應用于國防、軍事工業(yè)的研發(fā)、生產(chǎn)

5，硅烷在平板顯示生產(chǎn)中也有重要的用途,

6，用于低溫二氧化硅CVD、用于氮化硅CVD

硅烷操作說明

用一個減壓器或獨立的控制閥安全地從氣瓶內(nèi)釋放硅烷。用單向閥來防止倒流。不要用明火或其它附近的熱源加熱鋼瓶的任何部分。

使用防火花工具。不要試圖對裝有硅烷的鋼瓶進行修理、調(diào)節(jié)或其他改動。

用氫離子檢測器監(jiān)測硅烷的修理和在空氣中的擴散，用紅外/紫外監(jiān)測器監(jiān)測火災 。所以的監(jiān)測器都應有內(nèi)鎖，一旦發(fā)現(xiàn)問題立即自動切斷硅烷氣源。

如果出現(xiàn)故障或其他操作問題，請立即與最近的分銷商聯(lián)系。

硅烷系統(tǒng)中不允許使用填壓閥，只允許使用非填壓的膜閥和波紋管閥。在其分配系統(tǒng)中應安裝過流閥或過流開關。這樣可以在下游管線發(fā)生爆炸時切斷氣源。這個開關閥應安裝得離氣源越近越好。

如有可能應避免單獨一個人操作鋼瓶。所有的操作都應這樣進行,一旦發(fā)生泄漏，處理緊急情況的人員可以立即趕到。

監(jiān)測系統(tǒng)應裝備備用或應急電源。必須有遙控緊急開關，必要時可關閉硅烷氣源。

一定不要拉、滾動或滑動容器。用合適的手推車來移動容器，不要試圖抓住氣瓶的蓋子來拎起它。保證氣瓶在使用的全過程中為固定狀態(tài)。

不可將工具(如：扳手，螺絲刀，等) 插入閥蓋內(nèi)。 否則會損壞閥門并引起泄漏。

一旦鋼瓶與吹掃和鈍化過的系統(tǒng)連接好，應緩慢仔細地打開鋼瓶閥。如果使用者在操作氣瓶閥時有困難，需停止使用，并與供應商聯(lián)系。

使用可調(diào)節(jié)的帶扳手來打開過緊或生銹的閥蓋。所有管路和相關設備接地。電器設備必須防火花和防爆。

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